防静电移动洁净棚

技术领域

本实用新型涉及洁净室设施的结构改进技术，尤其是防静电移动洁净棚。

背景技术

目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。洁净室系指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。

洁净室的发展与现代工业、尖端技术密切联系在一起。由于如陀螺仪、微型轴承等加工等精密机械工业，又如大规模集成电路生产半导体工业等对环境的要求，促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过，在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10％～15％，64为储存器仅2％。

洁净棚是一类可以方便快速搭建的简易洁净室，其可提供局部高洁净环境的净化设备，而且，具备多种洁净等级及空间搭配，可以根据使用需求设计制作。现有技术中需要改进的适用型洁净棚结构。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供防静电移动洁净棚，解决现有技术问题，满足生产现实的实际需要。

本实用新型的目的将通过以下技术措施来实现：包括框架、封板、风机过滤机组和桁架；立体厢型结构的框架顶部安装一组相互平行的桁架，在相邻二根桁架之间的框架顶部上侧安装风机过滤机组，框架顶部铺设封板。

尤其是，框架顶部安装一组功四根相互平行的桁架，在相邻二根桁架之间的框架顶部上侧均匀安装三部风机过滤机组。

尤其是，框架外壁立面上铺设防静电垂帘。

尤其是，框架外壁立面上铺设钢化玻璃。

尤其是，框架内侧安装控制箱。控制箱上安装压差计、计时器、指示灯、电源开关和门锁。

尤其是，框架内侧支撑节点位置安装固定三角支撑片。

尤其是，桁架下侧安装照明灯。

尤其是，风机过滤机组上安装直驱式离心风机。

尤其是，风机过滤机组上安装初效过滤器和高效过滤器。

尤其是，风机过滤机组上安装HEPA高效过滤网。

本实用新型的优点和效果：模块化结构设计，进风通过多级过滤后生成洁净空气，匀速送出到洁净棚内，形成均流层，使洁净空气气流呈垂直单向流，保证工作区内所要求的洁净度。容易提高净化级别，扩展性强，且重复利用价值高。适应性强，结构简便，容易安装和拆迁，维护成本低，施工期短，移动方便。

附图说明

图1为本实用新型实施例1中洁净棚大样主视结构示意图。

图2为本实用新型实施例1中洁净棚大样俯视结构示意图。

图3为本实用新型实施例1中洁净棚大样侧视结构示意图。

图4为本实用新型实施例1多组洁净棚组合平面结构示意图。

附图标记包括：

1-框架、2-封板、3-风机过滤机组、4-防静电垂帘、5-控制箱、6-三角支撑片、7-照明灯、8-桁架。

具体实施方式

本实用新型原理在于，系统优化设计洁净棚结构，兼顾洁净棚基本性能和简易快捷安装的实际需要。

本实用新型适用于车间内局部净化级别要求高的区域，如流水线作业区域。

本实用新型包括：框架1、封板2、风机过滤机组3、防静电垂帘4和桁架8。

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

实施例1：如附图1、2、3所示，立体厢型结构的框架1顶部安装一组相互平行的桁架8，在相邻二根桁架8之间的框架1顶部上侧安装风机过滤机组3，框架1顶部铺设封板2。

前述中，框架1顶部安装一组功四根相互平行的桁架8，在相邻二根桁架8之间的框架1顶部上侧均匀安装三部风机过滤机组3。

前述中，框架1外壁立面上铺设防静电垂帘4。

前述中，框架1外壁立面上铺设钢化玻璃。

前述中，框架1内侧安装控制箱5。控制箱5上安装压差计、计时器、指示灯、电源开关和门锁。

前述中，框架1内侧支撑节点位置安装固定三角支撑片6。

前述中，桁架8下侧安装照明灯7。

前述中，风机过滤机组3上安装直驱式离心风机。

前述中，风机过滤机组3上安装初效过滤器和高效过滤器。

前述中，风机过滤机组3上安装HEPA高效过滤网。

本实用新型实施例中，框架1以工业铝材或不锈钢方通、铁方通喷塑作为框架稳固、美观、不生锈、不产尘。封板2采用抗静电PVC膜，风机过滤机组3FFU：1200+600，风量1000CMH，三角支撑片SUS202。洁净棚的防静电垂帘4或钢化玻璃结构外壁防静电效果好、透明度高、网格清晰、柔韧度好、不变形、不易老化。风机过滤机组3具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可三档调速等特性，风机质量可靠，工作寿命长达50000小时以上；加上独特的风道设计，大大提高了风机的效率、降低了噪声！内部净化级别可达100-100K级。照明灯7采用18W黄光灯。

本实用新型实施例中，如附图4所示，多组单元结构的洁净棚集成搭设安装联片形成边长29700mm方形，面积达720m 2规模化的大棚结构。

本实用新型实施例中，通过使净化系统的送风量大于回风量和排风量之和的方法，保持洁净棚内气压处于一定的正压值，以保证不受外界环境污染，其送风量的大小受围护结构密封性能的好坏影响，不同等级的洁净棚之间以及洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa，与室外的静压差不应小于10Pa；《空气洁净技术措施》中推荐维持此正压一般所需风量为1～2次/h换气次数。要求洁净棚中乱流占洁净棚总送风量的10％～30％；层流洁净棚总送风量的2％～4％。补偿室内排风和保持正压所需要的新风量。保证室内每人的新风量不少于30m 3/h。当工艺要求洁净度为100级时，选用层流流型；当洁净度为1000～100000级时，选用乱流流型。

本实用新型实施例中，洁净棚的工作原理包括：风机过滤机组3从顶部将空气吸入，先后经初效过滤器和高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20％的风速匀速送出到洁净棚内。形成均流层，使洁净空气气流呈垂直单向流，从而保证了工作区内所要求的洁净度。